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离子探针仪器的四个分类以及应用

  • 产品时间:2021-11-11 23:32
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简要描述:离子探针仪器的分类 一般来说把离子束斑小于10m以上的,称作非光学宏观探针(nonimagingmacroprobes);把离子束斑大于10nm的称作离子微探针(microprobes)。 离子探针仪器的四个分类和应用于:就光学技术而言,可分成扫瞄型离子微探针(scanningionmicroprobes)和摄像机型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小,(1m),并在样品上扫瞄,类似于扫描电镜(SEM)和扫瞄俄赫尔微探针(SAM),也叫离子微探针。...

详细介绍
本文摘要:离子探针仪器的分类 一般来说把离子束斑小于10m以上的,称作非光学宏观探针(nonimagingmacroprobes);把离子束斑大于10nm的称作离子微探针(microprobes)。 离子探针仪器的四个分类和应用于:就光学技术而言,可分成扫瞄型离子微探针(scanningionmicroprobes)和摄像机型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小,(1m),并在样品上扫瞄,类似于扫描电镜(SEM)和扫瞄俄赫尔微探针(SAM),也叫离子微探针。

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离子探针仪器的分类  一般来说把离子束斑小于10m以上的,称作非光学宏观探针(nonimagingmacroprobes);把离子束斑大于10nm的称作离子微探针(microprobes)。  离子探针仪器的四个分类和应用于:就光学技术而言,可分成扫瞄型离子微探针(scanningionmicroprobes)和摄像机型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小,(1m),并在样品上扫瞄,类似于扫描电镜(SEM)和扫瞄俄赫尔微探针(SAM),也叫离子微探针。

后者是一次离子束斑较小(~300m),并静止不动,而二次离子光学(secondaryionoptics)扫瞄光学,也叫离子显微镜(ionmicroscope),空间分辨率~0.2m。  在离子探针很快发展中,要解释或所列所有有所不同的仪器是不有可能的。概括地说,可以分成以下几类。

  1.非光学离子探针  2.离子显微镜  3.扫瞄离子微探针  4.图像解剖学离子探针(imagedissectingionprobes)  离子探针仪器的应用于  像离子探针限于于许多有所不同类型的样品。下面得出一些代表性例子。  一,金属样品  这是理想的样品,会荷电。

首先能用SEM必要找到感兴趣的分析区。用于剖面样品和用于扫瞄离子探针,沿剖面线扫瞄的方法是一种简单的技术,可作为动态SIMS的补足。可用作金属氧化物茁壮、生锈、焊、形变过热脱落和晶粒间界偏析等方面的研究。

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  二,半导体器件  检测掺入产于剖面和层形结构。随着超大规模集成电路的发展,扫瞄离子探针分析更加最重要。

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  三,非导体样品  高聚物和玻璃产品是典型绝缘样品。为子解决问题荷电问题,火焰光度计已研发出有了微探讨扫瞄原子束,可以对绝缘样品产生高质量的离子像。但当纵向分辨率须要高于5m时,上述源就无法满足要求了。

此时仍只用探讨微离子束。这方面己顺利地获得了家蝇触须的离子像。

应用于的另一个领域是复合材料,特别是在是研究这类材料裂痕界面的情况。


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